半導(dǎo)體晶圓超聲波清洗機(jī)
半導(dǎo)體晶圓超聲波清洗機(jī)是一種用于清洗半導(dǎo)體晶圓的設(shè)備。在半導(dǎo)體制造過程中,晶圓經(jīng)常需要在不同的制程步驟中進(jìn)行清洗,以去除表面的污染物、殘留物或化學(xué)物質(zhì),確保晶圓的質(zhì)量和性能。超聲波清洗技術(shù)是其中一種常用的清洗方法。這種方法利用超聲波在清洗液中產(chǎn)生的高頻振動(dòng)來產(chǎn)生微小氣泡和渦流,從而能夠有效地清洗晶圓表面。超聲波能夠在微觀層面產(chǎn)生高頻振動(dòng),使清洗液更容易滲透到微小的孔隙和表面結(jié)構(gòu)中,以去除微小的顆粒和污染物。 半導(dǎo)體晶圓超聲波清洗機(jī)通常由超聲波發(fā)生器、超聲波振蕩器、清洗槽和相應(yīng)的控制系統(tǒng)組成。操作人員可以根據(jù)晶圓的不同制程要求,調(diào)整清洗機(jī)的參數(shù),如超聲波頻率、清洗液類型和溫度等,以達(dá)到最佳的清洗…