晶圓用機(jī)械臂式全自動(dòng)超聲波清洗機(jī)
晶圓用機(jī)械臂式全自動(dòng)超聲波清洗機(jī)是一種專門設(shè)計(jì)用于清洗半導(dǎo)體晶圓的設(shè)備。晶圓是半導(dǎo)體芯片制造過程中的重要組成部分,需要在制備和加工過程中保持高度的潔凈度。該設(shè)備結(jié)合了機(jī)械臂和超聲波清洗技術(shù),能夠自動(dòng)執(zhí)行清洗過程,提供高效、精確的晶圓清洗解決方案。 產(chǎn)品特點(diǎn) 1、自動(dòng)化清洗:設(shè)備采用機(jī)械臂進(jìn)行晶圓的自動(dòng)加載、定位、清洗和卸載,減少人工操作,提高生產(chǎn)效率和一致性。 2、超聲波清洗技術(shù):通過超聲波振動(dòng),產(chǎn)生微小氣泡和劇烈沖擊力,能夠有效去除晶圓表面的污垢、顆粒和有機(jī)物,保持晶圓的潔凈度。 3、清洗液供應(yīng)系統(tǒng):清洗機(jī)配備了精確的清洗液供應(yīng)系統(tǒng),確保清洗液的成分、溫度和流量的穩(wěn)定性,以獲得高質(zhì)量的清洗效…