半導(dǎo)體晶圓五槽超聲波清洗機(jī)
半導(dǎo)體晶圓五槽超聲波清洗機(jī)是一種用于清洗半導(dǎo)體晶圓的設(shè)備。它通常由五個(gè)清洗槽組成,每個(gè)槽都具有超聲波發(fā)生器和相應(yīng)的清洗液。這種清洗機(jī)的主要目的是去除晶圓表面的污染物,以確保晶圓在后續(xù)工藝步驟中的質(zhì)量和性能。 清洗槽中的超聲波發(fā)生器會(huì)產(chǎn)生高頻聲波,通過(guò)液體傳播并產(chǎn)生強(qiáng)大的聲波振動(dòng)。這些聲波振動(dòng)可以產(chǎn)生微小的氣泡,并在其破裂時(shí)釋放出能量,從而形成渦流和沖擊波,有效地清洗晶圓表面。超聲波清洗具有高效、非接觸和均勻清洗的特點(diǎn),可以去除晶圓上的顆粒、油脂、化學(xué)殘留物等各種污染物。 產(chǎn)品特點(diǎn) 1、多槽設(shè)計(jì):該清洗機(jī)通常由五個(gè)清洗槽組成,每個(gè)槽都有特定的功能和清洗液。多槽設(shè)計(jì)可以滿足不同的清洗需求,例如預(yù)清…